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Beschichtungsanwendungen

Halbleiter

Photoresist- und Polyimidfilme

Beschichtungstechnik für Photoresist- und Polyimid-Coating. Herstellung gleichmäßiger dünner Schichten bei wenig Materialverlust aufgrund von minimalem Overspray.
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MEMS / Halbleiter

Ultraschall-Sprüh-Beschichtung mit Photoresist für MEMS-Wafer und andere Substrate mit unterschiedlichen Topographien
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