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Photoresist- und Polyimidfilme

Photoresist- und Polyimidfilme

Beschichtungssysteme für Photoresist- und Polyimidfilme für die Photolithographie

Sono-Tek Ultraschall-Sprühbeschichtungssysteme haben sich für verschiedene Anwendungen bewährt, bei denen gleichmäßige, wiederholbare Beschichtungen von Fotolack- oder Polyimidfilmen erforderlich sind. Mit einer Kontrolle der Dicke im Nanometerbereich bis über 100 Mikrometer und einer Beschichtung jeder Form oder Größe sind die Beschichtungssysteme von Sono-Tek eine praktikable Alternative zu anderen Beschichtungstechniken wie Spin und herkömmlichem Spray.

Übliche Anwendungen für Photoresist- und Polyimidbeschichtungen umfassen, ohne darauf beschränkt zu sein, MEMS, Linsen, Mikrofluidikvorrichtungen, Mikroelektronik und Filter. Die Beschichtungssysteme von Sono-Tek können sowohl flache als auch 3D-Substrate wie Siliziumwafer, Glas, Keramik und Metall beschichten.

Ultraschallspray ist ein einfaches, wirtschaftliches und wiederholbares Verfahren für Photoresist- und Polyimidbeschichtungen. Sono-Tek Ultraschallbeschichtungssysteme ermöglichen die Feinsteuerung von Durchflussrate, Beschichtungsgeschwindigkeit und Abscheidungsmenge mittels Aufbringen mehrerer Lagen. Die Sprühformung mit niedriger Geschwindigkeit definiert den zerstäubten Sprühnebel in präzise, ​​kontrollierbare Muster, wobei ein Übersprühen vermieden wird, während sehr dünne, gleichmäßige Schichten erzeugt werden.


Die Vorteile von Ultraschall-Sprühsystemen bei Photoresist- und Polyimid-Direktsprühbeschichtungsprozessen umfassen

  • Gleichmäßige Dünnschichtbedeckung verschiedener Oberflächenprofile.
  • Hohe Flexibilität der Chemie und Beschichtungseigenschaften.
  • Nicht verstopfendes zerstäubtes Spray.
  • Hohe Übertragungseffizienz bei sehr geringem überschüssigen Materialverbrauch.
  • Hochgradig wiederholbares, bewährtes Sprühverfahren.

Das Herzstück aller Sono-Tek-Sprühsysteme ist die patentierte Ultraschall-Sprühdüse, die hochfrequente Schallschwingungen verwendet, um einen weichen Nebel aus mathematisch definierten Tröpfchen zu erzeugen. Dies beseitigt ein Verstopfen, da kein Druck zur Erzeugung des Sprays verwendet wird und die Tröpfchen eine sehr enge Tropfenverteilungsgröße aufweisen, was weiter zur Gleichmäßigkeit der abgeschiedenen Schicht beiträgt.